THA系列主动减振器

产品特性：

三思减振THA系列主动减振器主要应用于一些对微振敏感的高端检测设备，针对于AFM和SEM而开发的高端主动减振器。

当长时间的图像采集和持续的探针测量，就需要稳定的微振解决设备。同时，一些高分辨率的显微镜，为得到清晰的图像，也需配备微振解决设备。其在六个自由度方向均有非常好的减振性能，为进行纳米测量提供有效的解决方案。



产品特点：

·轻巧便捷，安装方便，无需气源，接入电源即可使用
·手动/自动调节水平，操作简便
·6自由度振动信号实时检测，执行器提供推力，主动衰减振幅

·实时监控台面振动

产品应用：

显微镜、光学设备、检测设备等

传递率







规格参数








产品特点：

·THA2系列气浮式主动减振，针对扫描电镜、透射电镜、扫描隧道显微镜等超精密设备而研发
·采用三思高端型气浮减振器进行基础隔振，即使在安装现场环境有不规律的冲击振动时，也能确保持续的振动稳定性

·三思自研的THA主动减振系统，实现6自由度主动减振。前馈控制技术与反馈控制相结合，在低频范围提供出色的隔振效果

·可选电控自动调平系统或机械调平系统，自动调整水平，一键启动减振

产品应用：

显微镜、光学设备、检测设备等

传递率



规格参数

产品结构说明：

产品特性

1. 安装方便，无需气源，接入电源即可使用；

2. 手动调节水平，操作简便；

3. 模块化的主动减振器，可根据设备重量和尺寸，制作成各种平台；

4. 6自由度振动信号实时检测，执行器提供推力，主动衰减振幅；

5. 实时监控台面振动。

产品应用

显微镜、光学设备、检测设备等

产品特性

1. THA3系列气浮式主动减振，为光刻机等运动平台设备而研发，消减大质量滑块运动带来的振动；

2. 采用三思高端型气浮减振器进行基础隔振，即使在安装现场环境有不规律的冲击振动时，也能确保持续的振动稳定性；

3.三思自研的THA主动减振系统，实现6自由度主动减振。地面振动前馈与反馈控制相结合，提供出色的隔振效果；；

4. 运动前馈与速度反馈控制结合，有效消减平台运动加速度，快速稳定平台振动；

5. 阀控气动调平系统，可自由调整各减振器高度，一键启动减振。

产品应用

半导体设备，及高精度、高速度加速度的精密运动平台等

　

产品用途：

显微镜、光学设备、检测设备等静态设备或微动设备