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THS4减振器因其内部阻尼室的空间更大,所以能提供更出色的减振及衰减性能,且稳定时间远优于光学平台。
减振方式:气动减振
固有频率:垂直/水平=1.5-2HZ
10Hz减振率:90-99%
自动调整水平:是
调整水平重复性:
1、标准调整精度±0.1mm
2、高精度调整精度±0.05mm
在垂直和水平方向提供水平的减振性能。THS4减振器采用两室系统,用节流孔将气室与阻尼室相连接。
两室结构能够有效衰减传递到设备的振动,使运动平台所需时间降低,并且固有频率更低。
如需较高的水平度,可将精密调平阀(±0.05mm)安置在减振器上,减振性能更好。
在THS4系列减振器上可以安装内置型油阻尼,搭载运动平台的设备稳定时间得以缩减,减振器刚性提升。
光学设备、检测设备、半导体设备、探针台