半导体设备如何选择减振器

半导体设备是指光刻机、晶圆检测设备等，这类设备的精度要求都非常高，对振动均非常敏感，通常需求主动减振器才能满足要求，也有检测类设备被动减振器即可满足。这类设备的减振器是标配产品，减振器能抑制振对设备运行的影响，保证设备的稳定性和纳米精度要求。

半导体设备如何选择减振器

在选择减半导体减振器设备之前，首先要了解周边的环境和设备的详细参数。只有将这些因素整理清楚，才可以进行减振器的选型，当然对于安装的时候才能够更好的去做到细节上的安装，设备减振器的使用带动的是不断的环境上的改善, 将所有的减震细节和环境进行相结合，给出的是更多的方案，对于工业生产中的安装来说是非常的重要的。

三思THA系列主动减振器

产品特点：

· 轻巧便捷，安装方便，无需气源，电源接入，即插即用

· 手动调节水平，简捷操作，节省成本
· 六自由度传感器反馈信号到电机实施主动反向推力消除振动


· 可实时监控

产品参数

半导体生产对于设备减振器的需求是很大的，因为基本上每一个半 导体的生产环节都是用到了设备减振器的，而好的设备减振方案和好的设备减振器是能够带动生产环境的良好发展，对于半导体行业的发展也是相当的重要。

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