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振动 (Vibration)
振动是指在基准位置上产生的机械式摇动,也就是说,构造物或地板等受动态外力之后,随着时间推 移,开始从运动平衡位置产生重复运动的现象。在各种振动中,地基振动是我们能够感觉到的较重振动,但也有很多我们在日常生活中难以感知的微细振动,这种微细振动会给半导体工程设备、 电子显微镜、精密测量器、 光学及光学相关机器之类对振动敏感的超精密设备性能带来影响。
振动的分类
根据—定时间内出现的次数不同,振动分为周期振动和非周期振动;根据持续性不同,分为连续振动和瞬间振动。 周期振动一般出现在旋转的机器上,可通过振幅谱测量。除此之外的所有振动则属千随机或非周期振动,该类振动可通过振幅谱密度来测量。
振动的单位
振动一般可通过位移、 速度和加速度来表示,此时振动的形状和周期无论用位移、 速度、 加速度中任何一个来表示均是相同的,但差异在千存在位相差。 就正弦波信号而言,位移、 速度及加速度增幅与时间函数有着数学上的相关关系。 如不考虑位相,速度则由与频率成比例的任意常数除以加速度来计算得出,位移则以与频率自乘成比例的任意常数除以加速度来计算得出。
位移,速度,加速度的关系
振动的来源
振动的来源大体上有三种:
1. 地基振动
2. 声音干扰
3. 直接施加给隔振对象的干扰
实验室振动源示例